Stazione a sonda automatica DX1PS3

sottovuotomagnetica

Panoramica

La stazione di probe DX1PS3 a livello wafer per campo magnetico nel piano è progettata per la caratterizzazione elettrica e magnetica di materiali semiconduttori, dispositivi micro‑nano e dispositivi spintronici. Fornisce un campo magnetico unidimensionale nel piano fino a 330 mT (a 10 mm di gap d'aria) e supporta misure elettriche DC/RF ad alta precisione.

Introduzione dei parametri

• Modello: DX1PS3
• Direzione del campo magnetico: nel piano (X)
• Intensità del campo: ≥ 330 mT @ 10 mm gap d'aria
• Gap d'aria regolabile: No
• Dimensione campione: wafer 12" (retrocompatibile con 8" e 6")
• Tipo e numero sonde: sonde DC (set da 4) o sonde microonde (set da 4)
• Portacampione: corsa XY controllo elettrico ±150 mm, precisione 2 μm; asse T manuale ±5°, precisione minima 5′
• Tipo microscopio: monoculare

Descrizione del prodotto

• Supporta test di campo magnetico nel piano con design modulare (magnete sostituibile); uniformità del campo ±1% @ 1 mm.
• Monitoraggio e feedback in tempo reale del campo magnetico con accuratezza <1% e risoluzione <0.02 mT.
• Accoglie wafer fino a 12" ed è compatibile con campioni 8" e 6".
• Accetta fino a 4 set di sonde (RF o DC) e dispone di piattaforma probe in Z con sollevamento rapido per elevare il throughput dei test.
• Progettazione pronta per integrazione con sonda Hall, gaussmetro e supporto regolazione microscopio.

Configurazione specifica (sintesi)

• Assemblaggio principale: stazione DX1PS3 wafer level per campo magnetico nel piano
• Elettromagnete unidimensionale in‑plane (1 pz): direzione X, ≥330 mT @ 10 mm gap d'aria, zona uniforme ±1% @ 1 mm, risoluzione 0.02 mT
• Alimentazione / sorgente di corrente 400 W (1 pz): uscita bipolare continua, funzionamento a quattro quadranti, tasso di variazione configurabile (0.00001 a 0.5 F.S./s, F.S.=5 A), ingresso AC monofase 220 V ±10%
• Portacampione (1 pz): corsa X/Y ±150 mm, risoluzione 2 μm; asse T manuale ±5° (sensibilità ≈5′); diametro portacampione 10 pollici, adsorbimento a vuoto
• Supporto sonde / fixture (4 pz): base con interruttore a vuoto; corsa fine XY ±6 mm; risoluzione di regolazione ±1 μm; inclinazione 30°; include sonde DC (set tipico 4), perdita ≤10 pA, corrente max 1 A, tensione resistente 700 V, frequenza max 1 MHz; cavi coassiali ≥1.5 m, connettori BNC maschio
• PC di controllo (1 pz): Intel i5, 16 GB RAM, 256 GB SSD + 512 GB HDD, display 23.8"
• Pompa a vuoto oil‑free (1 pz): funzionamento 24 h, portata ≥ 7 L/min
• Microscopio monoculare (1 pz): illuminazione coassiale, distanza di lavoro ≥ 80 mm; camera 5 MP, 30 fps, USB2.0; ingrandimento 0.75X–5X, zoom continuo
• Tavolo ad assetto ad aria (1 pz): dimensioni ≥ 800 × 1200 mm; include compressore
• Integrazione struttura: canali del vuoto nascosti, dispositivo Z manuale risoluzione 10 μm, nessuna deriva sotto campo massimo
• Chiller (1 pz): 5–35 °C, 1200 W @ 25 °C, serbatoio 10 L, controllo ±1 °C

Interfaccia di prova

• Interfaccia dedicata per misure di magnetoresistenza (schema fornito nella pagina prodotto)

Specifiche tecniche

• Modello: DX1PS3
• Direzione del campo: nel piano (X)
• Intensità campo: ≥ 330 mT @ 10 mm gap d'aria
• Uniformità campo: ±1% @ 1 mm
• Monitoraggio campo: accuratezza <1%; risoluzione <0.02 mT
• Compatibilità campione: wafer 12" (compatibile 8" e 6")
• Corsa XY (portacampione): ±150 mm, precisione 2 μm
• Asse T: manuale ±5°, precisione minima 5′
• Capacità sonde: fino a 4 set (RF o DC); set tipico: 4 sonde
• Risoluzione supporto sonde: ±1 μm; corsa fine XY ±6 mm
• Alimentazione/sorgente: 400 W, uscita bipolare quattro quadranti, corrente max 5 A
• Piattaforma Z: manuale (aggiornabile a motorizzata)
• Microscopio: monoculare, distanza di lavoro ≥ 80 mm, camera 5 MP, 30 fps, zoom 0.75X–5X
• Pompa vuoto: oil‑free, funzionamento continuo, portata ≥ 7 L/min
• Tavolo ad aria: ≥ 800 × 1200 mm
• Chiller: 5–35 °C, 1200 W @ 25 °C, serbatoio 10 L, ±1 °C
• PC controllo: Intel i5, 16 GB RAM, 256 GB SSD + 512 GB HDD, display 23.8"