Stazione a sonda magnetica DX1PS4

manuale

Panoramica

La stazione di prova a sonde con campo magnetico verticale a livello wafer è progettata per la caratterizzazione magnetica a livello wafer e i test dei dispositivi. Supporta wafer fino a 12 pollici, diversi tipi di sonde (DC o microonde) e fornisce monitoraggio preciso del campo magnetico con un flusso di prova efficiente.

Specifiche tecniche

• Direzione del campo magnetico: Verticale
• Intensità del campo magnetico: Campo magnetico verticale >700 mT
• Gioco d'aria regolabile: No
• Dimensione del campione: Wafer 12 pollici (retrocompatibile con 8 pollici, 6 pollici e frammenti)
• Tipo e quantità di sonde: Sonde DC (set da 4) o sonde microonde (set da 4); compatibile con fino a 4 set di sonde (RF o DC)
• Parametri della piastra campione: Corsa elettrica XY ±150 mm, precisione di regolazione 2 μm; regolazione manuale asse T ±5°, precisione minima di regolazione 5°
• Tipo di microscopio: Microscopio monoculare
• Uniformità del campo magnetico: ±1% @ φ1 mm (struttura progettata universalmente ad eccezione del magnete)
• Monitoraggio del campo magnetico: Monitoraggio e feedback in tempo reale; precisione di monitoraggio migliore dell'1%; risoluzione del campo migliore di 0,02 mT
• Piattaforma sonda asse Z: Funzione di sollevamento rapido per test efficienti; sollevamento manuale aggiornabile a controllo elettrico

Compatibilità e sonde

Supporta set di sonde DC e microonde, fino a quattro set simultanei per misure parallele. La selezione e la disposizione delle sonde sono compatibili con schede di prova e fissaggi wafer standard.

Applicazioni tipiche

• Caratterizzazione magnetica a livello wafer
• Test e calibrazione di sensori MR
• Valutazione di dispositivi spintronici
• R&S e verifica dei processi produttivi per dispositivi magnetici

Vantaggi operativi

Il feedback in tempo reale del campo magnetico integrato e il monitoraggio ad alta risoluzione assicurano misure ripetibili. La corsa XY e le regolazioni fini supportano un posizionamento preciso delle sonde su scala wafer, mentre il rapido sollevamento in Z migliora il rendimento dei test.

Opzioni e ordini

Opzioni disponibili: upgrade asse Z motorizzato, aggiornamenti del microscopio, servizi di calibrazione del campo e fissaggi wafer personalizzati. Contattare il commerciale per configurazioni e tempi di consegna.