Generatore plasma radiofrequenza Paramount

Fate progredire il vostro sviluppo di processo con una nuova attenzione alla flessibilità operativa. I generatori RF Paramount® HF offrono ampie gamme di potenza, supportano molteplici scenari di integrazione e sono dotati di interfacce seriali/analogiche standard e di altre interfacce di comunicazione opzionali. Paramount HF consente di ottenere l'alta densità di plasma e l'energia ionica richieste dai dispositivi ad alto rapporto di aspetto e accelera il processo per il prossimo nodo di strumenti di lavorazione dei semiconduttori. L'architettura digitale della piattaforma Paramount garantisce una gestione precisa dell'energia e semplifica l'integrazione di nuove funzioni, senza tempi di consegna o modifiche hardware. L'elevata potenza in uscita e la ripetibilità delle prestazioni sono ottenute grazie al rilevamento in tempo reale delle variazioni del plasma. I limiti di protezione interna facilitano un funzionamento affidabile. - Controllo digitale completo - Sintonizzazione della frequenza, pulsazione e sincronizzazione degli impulsi - Misura della potenza e dell'impedenza in tempo reale - Gestione dell'arco elettrico - Sincronizzazione di fase (CEX) - Miglioramento della stabilità del plasma e della ripetibilità del processo - Controllo preciso della potenza RF - Risposta rapida ai cambiamenti del plasma - Facilità di adattamento per soddisfare le esigenze di applicazioni specifiche