Generatore plasma radiofrequenza Paramount Plus

Controllo della pulsazione e della forma d'onda dell'impulso a più livelli per le applicazioni emergenti del plasma Il più ampio set di funzioni disponibile in un prodotto RF a impulsi. Il Paramount Plus offre una regolazione RF precisa, una sofisticata manipolazione degli impulsi e un'acquisizione dati avanzata. Progettato per coprire un'ampia gamma di energia RF - frequenze da 1 a 60 MHz e livelli di potenza da 1,5 a 15 kW - il Paramount Plus offre la ripetibilità e l'affidabilità richieste. Paramount® Plus Alimentatori RF pulsati Grazie al pulsing multilivello, al controllo della forma d'onda dell'impulso e alla più ampia serie di funzioni più ampio disponibile in un prodotto a radiofrequenza pulsata, la piattaforma Paramount® Plus consente di superare i limiti dell'innovazione di processo e offre il miglior valore sul mercato offre il miglior valore sul mercato. Eccellente stabilità del plasma, regolazione RF precisa, manipolazione sofisticata degli impulsi e acquisizione avanzata dei dati acquisizione dati avanzati forniscono l'estrema libertà di controllo del plasma richiesta per i nodi di nuova generazione. VANTAGGI PER L'UTENTE controllo preciso di RF e impulsi maggiore stabilità del plasma e ripetibilità del processo risposta rapida ai cambiamenti del plasma flessibilità e adattabilità per le tecnologie di produzione avanzate APPLICAZIONI PER SEMICONDUTTORI pVD pECVD mordenzatura