Il microscopio confocale della serie VT6000 è uno strumento per misurare la superficie di vari dispositivi e materiali di precisione a livello micro e nano. Utilizza la tecnologia confocale come principio, combina il modulo di scansione Z di precisione e l'algoritmo di modellazione 3D per eseguire la scansione senza contatto sulla superficie del dispositivo e creare immagini 3D della superficie. Attraverso il software di sistema, esegue l'elaborazione e l'analisi dei dati sull'immagine 3D della superficie del dispositivo e ottiene parametri 2D e 3D che riflettono la qualità della superficie del dispositivo. In questo modo, può realizzare uno strumento di rilevamento ottico per la misurazione 3D della topografia della superficie del dispositivo. È in grado di misurare tutti i tipi di superfici, da quelle lisce a quelle ruvide, da quelle a bassa riflettività a quelle ad alta riflettività, la rugosità, la planarità, il profilo micro geometrico e la curvatura del pezzo da nano a micron, ecc. e di fornire più di 300 tipi di parametri 2D e 3D come standard di valutazione secondo le norme ISO/ASME/EUR/GBT e quattro standard nazionali ed esteri.
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