Ideale per test di laboratorio, prototipi e piccole produzioni.
Configurazione compatta ed efficiente.
Perfettamente adatto per:
PCB e sensori di piccole dimensioni (ad es. in elettronica, applicazioni mediche, ecc.)
Wafer fino a ø 150 mm (6 pollici)
Dimensioni complessive (L x P x A) - 1600 x 1300 x 1600 mm
Peso - 200 kg
Dimensioni della camera - ∅ 250 x 264 mm
Dimensioni dell'utensile - ∅ 226 x 240 mm
Carico massimo dell'utensile - 30 kg
Capacità di carico del dimero - 90g
Capacità di pompaggio - 25 m3/h
Alimentazione richiesta - 3 x 400V + N + PE - 50 Hz
3 x 25A - 15kW
Parylene processabile - Tipo: C, D, N, F-VT4, F-AF4
Camera termalizzata - intervallo di temperatura - 20 - 30°C
Opzioni - Compatibile con tutte le opzioni
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