Sensore di gas NDIR Gasboard-2060

a infrarossiper misurazione di processiper monitoraggio della purificazione dei gas per semiconduttori

Panoramica del prodotto
Gasboard-2060 è un sensore di gas SiF4 basato su tecnologia NDIR, progettato per il rilevamento in tempo reale del punto finale (EPD) durante la pulizia delle camere CVD per semiconduttori. Integra una cella gas e un ottica dedicate per misurazioni selettive della concentrazione di SiF4, facilitando il controllo del processo di pulizia. Gasboard-2060 fornisce letture rapide e si integra tramite interfacce analogiche e digitali.

Caratteristiche

• Rilevamento NDIR ottimizzato per SiF4.
• Risposta rapida (T90＜2s) per determinare con precisione il punto finale di pulizia.
• Uscita stabile con bassa deriva dello zero e alta ripetibilità.
• Design modulare e compatto per installazione e manutenzione agevoli.
• Uscite analogiche (1–10VDC) e digitali (RS232); porta di campionamento KF16.

Specifiche
Gas misurato: SiF4
Principio di rilevamento: NDIR (Non-Dispersive Infrared)
Intervallo: (0.0–0.2) Absorbance
Tempo di risposta: T90＜2s
Frequenza di reporting: 0.5s
Uscita analogica: 1–10VDC
Alimentazione: 15VDC (≤300mA) o 24VDC
Comunicazione digitale: RS232
Porta di campionamento: KF16
Dimensioni: 200 × 120 × 75,5 mm
Perdita: ＜1×10-8 Pa·m3/s (He)
Temperatura di esercizio: 5～65 ℃

Specifiche tecniche

• Gas misurato: SiF4
• Principio di rilevamento: NDIR
• Intervallo: (0.0–0.2) Absorbance
• Tempo di risposta: T90＜2s
• Frequenza di reporting: 0.5s
• Uscita analogica: 1–10VDC
• Alimentazione: 15VDC (≤300mA) o 24VDC
• Comunicazione digitale: RS232
• Porta di campionamento: KF16
• Dimensioni: 200×120×75,5 mm
• Perdita: ＜1×10-8 Pa·m3/s (He)
• Temperatura di esercizio: 5～65 ℃