Compact SIMS: una svolta nel design per l'analisi delle superfici
Lo strumento SIMS compatto di Hiden è stato progettato per una caratterizzazione rapida e semplice delle strutture degli strati, della contaminazione superficiale e delle impurità, con un rilevamento sensibile degli ioni positivi assistito dal fascio di ioni primari di ossigeno e fornisce una sensibilità isotopica su tutta la tavola periodica. La geometria del cannone ionico è ideale per la risoluzione di profondità nanometrica e per l'analisi in prossimità della superficie.
Contaminazione con silicone
Film sottili Rivestimento ottico
Materiali elettronici
Celle solari flessibili
Lo strumento SIMS compatto di Hiden è progettato per una caratterizzazione rapida e semplice delle strutture degli strati, della contaminazione superficiale e delle impurità, con un rilevamento sensibile degli ioni positivi assistito dal fascio di ioni primari di ossigeno e fornisce una sensibilità isotopica su tutta la tavola periodica. La geometria del cannone ionico è ottimizzata per una risoluzione di profondità nanometrica e per l'analisi in prossimità della superficie.
Un carosello rotante consente di caricare simultaneamente 10 campioni per la misurazione nella camera a vuoto alimentata a secco. Lo strumento ha un ingombro ridotto ed è eccezionalmente facile da usare, vanta lo stesso software di controllo e lo stesso sistema di pistole ioniche della famiglia di workstation SIMS di Hiden, fornendo profili di profondità, immagini 3D e 2D e dati spettrali di massa. Il rivelatore MAXIM-600P si basa sull'affidabilissimo filtro di massa Hiden a triplo quadrupolo da 6 mm con rilevamento degli ioni a impulsi. Per l'analisi di campioni isolanti è disponibile un cannone elettronico opzionale.
Oltre al SIMS, il Compact SIMS dispone di una funzione SNMS, utile per la quantificazione di elementi ad alta concentrazione, come le leghe.
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