Sorgente di ioni per spettrometria di massa IG20

Una sorgente ionica di Argon o Ossigeno a 5keV per applicazioni di analisi superficiale UHV L'IG20 è dotato di una sorgente ionica a impatto elettronico ad alta luminosità, progettata specificamente per l'ossigeno, ma adatta anche all'uso con gas inerti e altri gas. Film sottili Rivestimento ottico Materiali elettronici Materiali nucleari L'IG20 è stato progettato come fascio ionico primario per applicazioni SIMS, Auger e XPS per l'imaging e la profilazione di profondità, tuttavia la scansione raster generata internamente e l'ampia gamma di parametri operativi lo rendono adatto alla pulizia dei campioni e agli esperimenti di scienza delle superfici. I filamenti gemelli commutabili dall'utente garantiscono la continuità di funzionamento in caso di rottura del filamento, che può essere sostituito a piacimento. Fascio di ioni intenso con dimensioni dello spot di 100 µm ed energie da 0,5 a 5 keV Alta densità di corrente, fino a 4,5 mA/cm2 Sorgente ionica a impatto elettronico con capacità di Argon e Ossigeno Ottica di guida per la diffusione delle linee e la rasterizzazione del fascio nel profiling di profondità offset di 3° nella colonna del cannone ionico per una reiezione ottimale dei neutri Funzione di blanking del fascio per una rapida commutazione del fascio nelle applicazioni di rasterizzazione Pompaggio differenziale della sorgente per ridurre il carico di gas in camera Gruppo a doppio filamento facilmente sostituibile Velocità di sweep fino a 64 µs Funzionamento integrato con le sonde SIM e EQS per il controllo diretto della velocità e dell'area di rasterizzazione