Spettrometro di massa HMT

quadripolareper supervisione di processo

Un sistema RGA a doppia modalità per la diagnostica del vuoto e il monitoraggio del processo Lo spettrometro di massa a quadrupolo HMT di Hiden è un unico sistema RGA a doppia modalità in grado di funzionare a pressioni fino a 5×10-3 mbar senza bisogno di pompaggio differenziale. Il funzionamento a questa pressione si ottiene utilizzando una combinazione di sorgente ionica/quadrupolo appositamente progettata e un software che corregge la non linearità dell'abbondanza. La specifica unica dell'alta pressione rende l'HMT ideale per le applicazioni di monitoraggio del processo. Analisi dei gas residui Elaborazione sotto vuoto XPS vicino all'atmosfera, APXPS Rivestimento ottico a film sottile CVD / MOCVD / ALD L'HMT è per l'analisi di processo sotto vuoto e l'analisi dei gas residui, ed è vitale per i controlli delle condizioni di funzionamento del processo, e per l'analisi nel processo per rilevare contaminanti inaspettati. Il sistema HMT può anche funzionare in modalità RGA allo stesso modo di un quadrupolo RGA tradizionale. I rivelatori doppi di Faraday / moltiplicatore di elettroni forniscono sensibilità di pressione parziale nell'intervallo 10-13 mbar. I processi tipici che possono essere monitorati includono CVD, etching, PECVD e PVD. Uno strumento RGA di processo per la risoluzione dei problemi e il monitoraggio. Modalità HMT per il funzionamento ad alta pressione fino a 5×10-3 mbar (pressione parziale minima rilevabile 5×10-8 mbar) Modalità RGA per il funzionamento ad alta sensibilità a P < 10-4 mbar (pressione parziale minima rilevabile 2 x 10-11 mbar) Gamma di massa di 100 amu, interfaccia di controllo remota (PC) tramite il software per PC MASsoft Professional Intervallo di massa di 100 amu, interfaccia di controllo remoto (PC) tramite il software per PC MASsoft Professional Stabilità (meno di ±1% di variazione dell'altezza in 24 ore) Controllo software MASsoft via RS232, USB o sistemi multipli via Ethernet LAN