Sonda di Langmuir ESPion

a potenziale plasmaticoper spettrometriautomatica

Una sonda Langmuir avanzata per la diagnostica del plasma Il monitoraggio di routine della caratteristica I-V del plasma con la sonda Hiden ESPion fornisce informazioni dirette sulla stabilità e la riproducibilità del plasma. L'estrapolazione automatica in tempo reale dei parametri del plasma fornisce informazioni dettagliate sulle proprietà del plasma da utilizzare per la caratterizzazione e il monitoraggio dell'uniformità. Caratterizzazione del plasma Incisione al plasma e ALE HiPIMS Rivestimento di carbonio simile al diamante (DLC) Rivestimenti con deposizione laser pulsata (PLD) Deposizione con magnetron DC di film di SiBCN Il sistema ESPion impiega Orbital Motion Limited (OML) e Allen Boyd Reynolds (ABR) come modelli standard di analisi del plasma. L'azionamento automatico a Z di Hiden consente di effettuare misure spazialmente risolte su tutto il volume del plasma. Le opzioni di traslazione Z-drive standard sono: 300, 600 e 900 mm. velocità di acquisizione di 15 scansioni al secondo con interfaccia D-O-E per analisi automatiche, semi-manuali o manuali Hiden pioniere nella compensazione RF passiva ESPion ha la più alta impedenza di blocco di qualsiasi altra unità disponibile in commercio 4.25MOhm a 13,56 MHz rispetto a 100kOhm Catena multiinduttore raffreddata a gas per il funzionamento del plasma ad alta temperatura La catena multiinduttore raffreddata a gas è sostituibile dall'utente per la sintonizzazione su altre frequenze La sonda di riferimento compensa gli effetti delle basse frequenze ad esempio lo spostamento del potenziale del plasma (ad esempio le pareti anodizzate della camera) o il rumore (ad esempio l'alimentazione) ESPion è la sonda per plasma pulsato più veloce di qualsiasi altra sonda commerciale ESPionSoft contiene tutti i circuiti di gating necessari come standard opzioni di azionamento lineare automatico da 300, 600 o 915 mm Valvola di isolamento interbloccata, sonde a 90°, opzioni di azionamenti combinati lineari e rotativi disponibili Ciclo di autopulizia per limitare la contaminazione della punta della sonda