Distributore a motore SB
verticaleorizzontalecompatto

distributore a motore
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Caratteristiche

Modo di funzionamento
a motore, verticale, orizzontale
Altre caratteristiche
compatto

Descrizione

Dosatore ad azionamento pneumatico - Ideale per i processi di produzione di semiconduttori per applicazioni di fotoresistenza. Caratteristiche della serie SB Elevata precisione Il dosatore della serie SB misura/distribuisce con precisione il fluido chimico come il fotoresist. Il volume per colpo è molto preciso per garantire l'applicazione della quantità ottimale di fotoresist. L'uso di un sistema di risucchio opzionale impedisce il gocciolamento dall'ugello di iniezione. Il volume morto nel soffietto è quasi inesistente, per cui la possibilità di ristagno della soluzione è ridotta al minimo. Il design del cilindro senza guarnizioni e ultra-lento consente di dosare il fotoresist a bassa velocità con una minore probabilità di intrappolamento dell'aria. Estremità umide in acciaio inox/fluoro Le estremità umide in acciaio inox (SUS304) e fluoro (PTFE/PFA) sono disponibili per diversi liquidi e garantiscono una buona resistenza alla corrosione e un'erogazione priva di contaminazione. Sono particolarmente indicate per l'erogazione di fotoresist ad alta risoluzione/purezza. Design leggero e compatto La pompa può essere montata sia in verticale che in orizzontale (tranne SB-4K/-5/-6), consentendo la migliore configurazione del sistema, ed è abbastanza compatta da poter essere inserita in uno spazio di installazione limitato. Inoltre, sono disponibili come optional un tappo meccanico che regola finemente il volume di dosaggio e un rilevatore di posizione che assicura il corretto movimento del pistone nel cilindro.

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ACHEMA 2024
ACHEMA 2024

10-14 giu 2024 Frankfurt am Main (Germania) Hall 8.0 - Stand A62

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    * I prezzi non includono tasse, spese di consegna, dazi doganali, né eventuali costi d'installazione o di attivazione. I prezzi vengono proposti a titolo indicativo e possono subire modifiche in base al Paese, al prezzo stesso delle materie prime e al tasso di cambio.