Dosatore ad azionamento pneumatico - Ideale per i processi di produzione di semiconduttori per applicazioni di fotoresistenza.
Caratteristiche della serie SB
Elevata precisione
Il dosatore della serie SB misura/distribuisce con precisione il fluido chimico come il fotoresist. Il volume per colpo è molto preciso per garantire l'applicazione della quantità ottimale di fotoresist. L'uso di un sistema di risucchio opzionale impedisce il gocciolamento dall'ugello di iniezione. Il volume morto nel soffietto è quasi inesistente, per cui la possibilità di ristagno della soluzione è ridotta al minimo.
Il design del cilindro senza guarnizioni e ultra-lento consente di dosare il fotoresist a bassa velocità con una minore probabilità di intrappolamento dell'aria.
Estremità umide in acciaio inox/fluoro
Le estremità umide in acciaio inox (SUS304) e fluoro (PTFE/PFA) sono disponibili per diversi liquidi e garantiscono una buona resistenza alla corrosione e un'erogazione priva di contaminazione. Sono particolarmente indicate per l'erogazione di fotoresist ad alta risoluzione/purezza.
Design leggero e compatto
La pompa può essere montata sia in verticale che in orizzontale (tranne SB-4K/-5/-6), consentendo la migliore configurazione del sistema, ed è abbastanza compatta da poter essere inserita in uno spazio di installazione limitato.
Inoltre, sono disponibili come optional un tappo meccanico che regola finemente il volume di dosaggio e un rilevatore di posizione che assicura il corretto movimento del pistone nel cilindro.
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