Alta velocità di corsa
La velocità di corsa della pompa (max. 200spm: FS-80N) consente compattezza, leggerezza e costi contenuti, pur consentendo elevate capacità di portata e pressione.
Senza contaminazione
Tutte le estremità bagnate sono realizzate in fluororesina per garantire l'assenza di contaminazione. La nostra esclusiva guarnizione dell'albero riduce inoltre drasticamente la generazione di particelle (brevetto protetto: FS-80N).
Capacità di flusso e pressione elevati
La pressione massima dell'aria di alimentazione di 0,7MPa soddisfa non solo la richiesta di capacità di portata e pressione elevate nei processi di fornitura di prodotti chimici, ma anche i requisiti dei processi di pulizia/CMP.
Azionamento a sensore
I sensori di prossimità incorporati aprono/chiudono l'elettrovalvola. Il controllo della portata può essere assicurato e facilitato quando vengono utilizzati con i nostri controllori.
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