Pompa per prodotti chimici FLP

pneumaticaa soffiettofissa

Pulsazioni ridotte La posizione del soffietto è costantemente monitorata dai sensori di spostamento laser e dagli interruttori di prossimità. La pompa stessa riduce le pulsazioni senza alcuna attrezzatura aggiuntiva, poiché il controllore determina la quantità appropriata di sfasamento necessaria per spostare il soffietto a destra e a sinistra tramite una valvola elettromagnetica. Sensori ridotti Non sono necessari sensori esterni, poiché il controllo di fase della pompa dipende interamente dai segnali dei sensori laser e di prossimità inclusi nel progetto. Alta pressione Il movimento ottimale del soffietto aumenta la capacità di pressione sostenuta, mantenendo stabili la capacità di scarico e la pressione in caso di frequenti variazioni di carico, soprattutto nella lavorazione di wafer singoli. Design sicuro La struttura saldata del soffietto impedisce la fuoriuscita di liquido. Anche se il soffietto è danneggiato, i sensori di perdita integrati rilevano e forniscono un feedback per garantire un funzionamento sicuro.