Pompa a soffietto FS-100HT2

per acidopneumaticafissa

Maggiore efficienza di pulizia L'efficienza della pulizia, come la rimozione delle particelle e della contaminazione metallica sui wafer, viene migliorata con l'aumento della portata di circolazione. Anche i tempi di pulizia derivanti dall'aumento del numero di linee di lavorazione si riducono grazie alla maggiore velocità di circolazione. Senza contaminazione Oltre all'uso di estremità bagnate in fluoroplastica (PTFE e PFA), un rivestimento in fluoro sulle superfici esterne della pompa offre la migliore resistenza ai vapori dei prodotti chimici acidi, alcalini e di perossido di idrogeno utilizzati nella produzione di semiconduttori. Area di installazione ridotta Oltre all'uso di estremità bagnate in fluoroplastica (PTFE e PFA), un rivestimento in fluoro sulle superfici esterne della pompa offre la migliore resistenza ai vapori dei prodotti chimici acidi, alcalini e di perossido di idrogeno utilizzati nella produzione di semiconduttori Risparmio di peso L'ottimizzazione del design ha consentito di ridurre il peso di circa il 15% rispetto ai modelli 80-100L esistenti, facilitando le operazioni di installazione e sostituzione.