Asse lineare con motore lineare

di precisioneper camera bianca

Panoramica Asse del motore lineare con principio a magnete mobile (la bobina con testa di misura è fissa e la traccia magnetica sposta la slitta con un sistema di misura) Per il posizionamento dell'ottica Richieste Utilizzo in camere bianche classe ISO 100 - nessuna abrasione o usura dei cavi Utilizzo in 3 turni di lavoro su 7 giorni/settimana Elevata precisione meccanica Stabilità di temperatura: 22°C ±2° Implementazione Un comune cuscinetto a ricircolo di sfere a ricircolo di sfere per tutte le guide lineari Materiale della piastra di base selezionato in base al coefficiente di dilatazione termica della guida Costruzione e azionamenti sfalsati l'uno rispetto all'altro - per ottimizzare la lunghezza complessiva Specifica Accelerazione: max. 3.000 mm/s Velocità: 400 mm/s Errore di altezza per slitta: ≤1 µm Errore laterale per vetrino: ≤1 µm Errore massimo di altezza dei vetrini l'uno all'altro: 100 µm Errore max. di rotolamento, errore di imbardata, errore di trascinamento: ≤±100 µrad Un colpo: 50 mm (più possibile) Sistema di misura della risoluzione: 0,05 µm (50 nm) Riproducibilità in direzione del movimento: <0,5 µm