Asse lineare con motore lineare

con servomotoredi precisione

L'asse di precisione è un fascio di granito con un asse di precisione ad alta precisione. Il sistema completo comprende un servocontrollore per vari bus di campo (EtherCAT, Profinet, CAN, ...). Questo asse è per applicazioni di alta precisione come l'ispezione di wafer, scanner, misura adatta. - Trave di granito con un asse ad alta precisione - Sistema completo comprensivo di servocontrollore per vari bus di campo (EtherCAT, Profinet, CAN, ...) - Per applicazioni di alta precisione (ispezione di wafer, scansione, misura) Richieste - Montaggio su tutta la superficie sul telaio della macchina - Inclusa la catena dell'energia e il set di cavi assemblati - Fornitura come sistema di assi completamente assemblato e messo in funzione - Precisioni garantite a temperatura costante di ±2K Implementazione - Sviluppato per le esigenze specifiche del cliente - Motore lineare senza ferro con guida di precisione Velocità: max 500 mm/s Accelerazione: max. 1 m/s² Riproducibilità: 0,5 µm Precisione di posizionamento: 5 µm Risoluzione del posizionamento: 0,1 µm Ripetibilità (lato): 5 µm Ripetibilità (altezza): 1 µm Carico: max. 1 kg