L'asse di precisione è un fascio di granito con un asse di precisione ad alta precisione. Il sistema completo comprende un servocontrollore per vari bus di campo (EtherCAT, Profinet, CAN, ...). Questo asse è per applicazioni di alta precisione come l'ispezione di wafer, scanner, misura adatta.
- Trave di granito con un asse ad alta precisione
- Sistema completo comprensivo di servocontrollore per vari bus di campo (EtherCAT, Profinet, CAN, ...)
- Per applicazioni di alta precisione (ispezione di wafer, scansione, misura)
Richieste
- Montaggio su tutta la superficie sul telaio della macchina
- Inclusa la catena dell'energia e il set di cavi assemblati
- Fornitura come sistema di assi completamente assemblato e messo in funzione
- Precisioni garantite a temperatura costante di ±2K
Implementazione
- Sviluppato per le esigenze specifiche del cliente
- Motore lineare senza ferro con guida di precisione
Velocità: max 500 mm/s
Accelerazione: max. 1 m/s²
Riproducibilità: 0,5 µm
Precisione di posizionamento: 5 µm
Risoluzione del posizionamento: 0,1 µm
Ripetibilità (lato): 5 µm
Ripetibilità (altezza): 1 µm
Carico: max. 1 kg
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