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Macchina per deposizione per polverizzazione catodica a magnetron PROvap
per evaporazione termicaassistita da un fascio di ionidi film sottili

macchina per deposizione per polverizzazione catodica a magnetron
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Caratteristiche

Tecnologia
per polverizzazione catodica a magnetron, per evaporazione termica, assistita da un fascio di ioni
Tipo di deposito
di film sottili
Altre caratteristiche
sottovuoto
Applicazioni
per l'industria microelettronica, per applicazioni fotovoltaiche

Descrizione

- Sistema integrato Glovebox - Soluzione compatta ed economica - Facile configurazione - Co-deposizione - Uniformità fino a +/-3 % (con progettazione di geometrie specifiche fino a +/1 %) - Due dimensioni standard: PROvap 4G e PROvap 5G - Fino a 8 sorgenti di deposizione possibili - Dimensioni del substrato fino a 100x100 mm o diam. 100 mm (4") per PROvap 4G - Dimensioni del substrato fino a 150x150 mm o diam. 150 mm (6") per PROvap 5G - OLED/Elettronica organica - OPV - Batterie

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* I prezzi non includono tasse, spese di consegna, dazi doganali, né eventuali costi d'installazione o di attivazione. I prezzi vengono proposti a titolo indicativo e possono subire modifiche in base al Paese, al prezzo stesso delle materie prime e al tasso di cambio.