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Macchina per deposizione PVD MINIPEROvapper polverizzazione catodica a magnetronper evaporazione termicaassistita da un fascio di ioni
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Caratteristiche
- Metodo
- PVD
- Tecnologia
- per polverizzazione catodica a magnetron, per evaporazione termica, assistita da un fascio di ioni
- Tipo di deposito
- di film sottili
- Altre caratteristiche
- sottovuoto
- Applicazioni
- per l'industria microelettronica, per applicazioni fotovoltaiche
Descrizione
Mini camera PVD dedicata al 100% alle perovskiti
- Può essere integrata nelle glovebox MBRAUN esistenti (tramite anticamera)
- Design compatto
- Per substrati fino a 50x50 mm
- Fino a 4 sorgenti
- Uniformità dello strato < +/-5
- Soluzione economica
- Tempi di consegna brevi
- Facile retrofit in glovebox esistenti
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* I prezzi non includono tasse, spese di consegna, dazi doganali, né eventuali costi d'installazione o di attivazione. I prezzi vengono proposti a titolo indicativo e possono subire modifiche in base al Paese, al prezzo stesso delle materie prime e al tasso di cambio.