PanoramicaLa serie confocalDT IFS2407 comprende sensori confocali cromatici per applicazioni ad alta temperatura progettati per misure senza contatto in ambienti gravosi. Le versioni HT/VAC consentono misurazioni affidabili fino a 200 °C, unendo un design compatto a un basso tasso di degassamento per la compatibilità UHV. Sono disponibili diversi campi di misura e varianti con percorso del fascio a 90° per installazioni con spazio limitato.
Caratteristiche principali- Funzionamento affidabile fino a 200 °C
- Basso degassamento: idoneo per UHV e camere pulite
- Design confocale cromatico compatto per spazi di installazione ristretti
- Disponibile in più campi di misura e varianti, incluso percorso fascio a 90°
- Corpo in acciaio inox (materiale 1.4404)
Modelli e specifiche principali- confocalDT IFS2407-0,8HT/VAC
- Campo di misura: 0,8 mm
- Linearità: max. < ±0,18 µm
- Risoluzione: max. < 6 nm
- Basso degassamento: idoneo per UHV e camere pulite
- Misurazione affidabile fino a 200 °C
- Corpo in acciaio inox 1.4404
- confocalDT IFS2407-2HT/VAC
- Campo di misura: 2 mm
- Linearità: max. < ±0,44 µm
- Risoluzione: max. < 10 nm
- Basso degassamento: idoneo per UHV e camere pulite
- Misurazione affidabile fino a 200 °C
- Corpo in acciaio inox 1.4404
- Modelli disponibili con percorso fascio a 90°
- confocalDT IFS2407-4HT/VAC
- Campo di misura: 4 mm
- Linearità: max. < ±0,8 µm
- Risoluzione: max. < 24 nm
- Basso degassamento: idoneo per UHV e camere pulite
- Misurazione affidabile fino a 200 °C
- Corpo in acciaio inox 1.4404
- Modelli disponibili con percorso fascio a 90°
Applicazioni- Costruzione di macchine di precisione
- Industria dei semiconduttori
- Applicazioni in UHV e ambienti di camera pulita
Caratteristiche / specifiche tecniche- Serie / famiglia modello: confocalDT IFS2407
- Campi di misura disponibili: 0,8 mm; 2 mm; 4 mm
- Linearità massima (dipende dal modello): < ±0,18 µm (0,8 mm) — < ±0,44 µm (2 mm) — < ±0,8 µm (4 mm)
- Risoluzione massima (dipende dal modello): < 6 nm (0,8 mm) — < 10 nm (2 mm) — < 24 nm (4 mm)
- Temperatura di esercizio: fino a 200 °C
- Compatibilità vuoto / basso degassamento: idoneo per UHV
- Materiale corpo: acciaio inox 1.4404
- Varianti: versioni dritte e con percorso fascio a 90° disponibili