Sensore confocale cromatico confocalDT IFS2407

per la misurazione dello spessoreper misurazione della distanzasenza contatto

Panoramica
I sensori cromatici confocali confocalDT IFS2407 sono progettati per la misurazione ultra precisa di distanza, rugosità e spessore. Offrono apertura numerica elevata, spot dal diametro ridotto e ampi angoli di inclinazione, permettendo misure di rugosità e misure con precisione nanometrica.

Sensori per applicazioni ad alta temperatura (confocalDT IFS2407-xHT)

• Misurazione affidabile a temperatura ambiente fino a 200 °C
• Campi di misura (mm): 0,8 | 2 | 4
• Intervallo di temperatura: max. 200 °C
• Linearità: max. < ±0,18 µm
• Risoluzione: max. < 6 nm
• Corpo in acciaio inox 1.4404
• Idoneità al vuoto fino a UHV
• Varianti a 90° disponibili

Varianti e principali caratteristiche per modello

• confocalDT IFS2407-0,1: Campo di misura (mm): 0,1; Linearità: max. 0,05 µm; Risoluzione: max. 3 nm; ideale per misurazioni di distanza e rugosità; versione con intensità luminosa superiore disponibile per processi rapidi (NA 0,7); spot di misura ridotto da 3 µm; elevata sensibilità termica e ampio angolo di inclinazione; misurazione dello spessore di oggetti trasparenti a partire da 5 µm.
• confocalDT IFS2407-0,8: Campo di misura (mm): 0,8; Linearità: max. 0,2 µm; Risoluzione: max. 24 nm; piccolo spot di misura; design salvaspazio; misura precisa della distanza anche su superfici curve; ideale per misurazione dello spessore di strati sottili.
• confocalDT IFS2407-1,5: Campo di misura (mm): 1,5; Spot di misura molto piccolo di 5,5 µm; Angolo di misura > ± 43°; versione con intensità luminosa superiore (NA > 0,7); misurazione ad alta precisione su superfici curve e riflettenti; misurazione stabile su superfici strutturate.
• confocalDT IFS2407-3: Campo di misura (mm): 3; Linearità: max. 0,5 µm; Risoluzione: max. 13 nm; grande offset di circa 28 mm; angolo di inclinazione max. ± 30°; ideale per misurazioni su superfici curve e riflettenti.
• confocalDT IFS2407-6: Campo di misura (mm): 6; Linearità: max. 1 µm; Risoluzione: max. 15 nm; grande offset di circa 32 mm; ideale per misurazioni rapide e ad alta precisione su superfici complesse; elevata intensità luminosa anche con superfici scure o a bassa riflettività.
• confocalDT IFS2407/90-0,3: Campo di misura (mm): 0,3; Linearità: max. 0,15 µm; Risoluzione: max. 6 nm; ideale per misurazioni di spostamento e rugosità; spot di misura ridotto da 6 µm; elevata sensibilità termica e ampio angolo di inclinazione; percorso del fascio a 90° per montaggio in spazi ristretti.

Applicazioni tipiche

• Misurazione di distanza ultra-precisa
• Misurazione della rugosità
• Misurazione dello spessore di strati sottili e di oggetti trasparenti
• Impieghi in ambienti ad alta temperatura e in vuoto

Caratteristiche / specifiche tecniche

• Apertura numerica elevata per alta precisione
• Spot di misura di dimensioni ridotte (es. 3 µm, 5,5 µm, 6 µm a seconda della variante)
• Ampi angoli di inclinazione per misure su superfici non perfettamente ortogonali
• Precisione e risoluzione nanometrica (es. risoluzione fino a 3 nm per la variante 0,1 mm)
• Varianti con elevata intensità luminosa (NA > 0,7) per processi rapidi
• Versioni per temperature elevate (fino a 200 °C) con corpo in acciaio inox 1.4404
• Idoneità per applicazioni in vuoto fino a UHV
• Versioni con percorso del fascio a 90° per montaggio compatto