I sistemi SPS-1000, SPS-2000 e SPS-2200 sono le principali stazioni di sonda manuale di MicroXact, progettate per essere flessibili e facili da usare. L'elevato livello di prestazioni e la convenienza di questi sistemi di sonde manuali li rendono unici nel loro genere.
Grazie alla possibilità di utilizzare wafer fino a 200 mm, alle sonde DC o RF, al mandrino termico opzionale e a una varietà di opzioni di schermatura, le nostre stazioni di sonda possono essere utilizzate per un'ampia gamma di applicazioni, come l'analisi dei guasti, i test di affidabilità, i test IV/CV, i test a bassa corrente e la caratterizzazione di microonde e RF, solo per citarne alcune.
I test IV, CV e a bassa corrente con le stazioni di sonda manuali di MicroXact forniscono le misure precise e accurate necessarie per la caratterizzazione dei dispositivi a semiconduttore. I test di capacità e di bassa corrente a livello di wafer su matrici non sono mai stati così facili grazie alla varietà di opzioni disponibili e alla flessibilità delle stazioni di sonde manuali di MicroXact.
Caratteristiche
- Lo stadio manuale è disponibile con una slitta di precarico aggiuntiva per facilitare il carico e lo scarico di wafer o campioni.
- Controllo manuale della posizione Z della piastra e del mandrino con regolazioni grossolane e fini.
- La piastra liscia in acciaio fuso può contenere fino a 10 posizionatori magnetici o a vuoto.
- Sono disponibili mandrini coassiali e triassiali e custodie per test a bassa corrente di dispersione.
- Montaggio standard del braccio per il posizionamento XYZ a tutto campo del microscopio.
- Sono disponibili microposizionatori ad alta risoluzione con viti da 80TPI per il posizionamento delle sonde a livello di μm
- Sono disponibili microposizionatori ad alta risoluzione con viti da 80TPI per il posizionamento delle sonde a livello di μm.
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