Stazione a sonda semiautomatica SPS series

Sistemi semi-automatici standard - Mandrino XY motorizzato, piano motorizzato in SPS-2600, movimento Z motorizzato del mandrino in SPS 2800 in configurazione standard. Il teta motorizzato è un'opzione. - Basato su motore passo-passo, senza encoder. - Costo molto competitivo - Altamente raccomandato nelle applicazioni in cui si desiderano test o schermature a temperature inferiori a 0°C - Opzioni disponibili: mandrini riscaldati o raffreddati, cannocchiali zoom o microscopi composti, schermature varie, selezione dei mandrini per misure in corrente continua e in radiofrequenza e molto altro ancora Specifiche tecniche - Dimensioni del wafer Fino a 200 mm - Tipo di motore Motore passo-passo - Corsa dello stadio XY Fino a 200mmx200mm - Risoluzione dello stadio XY motorizzata, ripetibilità di 6,5μm - Velocità XY (max) 9.5 mm/s - Velocità Z (max) 5 mm/s - Corsa del piano 12.7 mm o più - Regolazione del piano Doppio controllo grossolano e fine con ripetibilità superiore a 2,5µm - Planarità del piano <12,7μm su 200 mm - Rigidità del piano <50μm per 4,5 kg - Mandrino a vuoto Vuoto multizona - Planarità del mandrino +/-13μm - Tensione di rottura del mandrino Almeno 500V - Isolamento del mandrino Almeno 1GΩ - Regolazione del mandrino 360° grossolana, +/-6° fine - Microscopio Zoom stereo di alta qualità con distanza di lavoro fino a 200 mm e ingrandimento da 3,5X a 180X - Terminali passanti BNC, Triax o connettore a banana - Dimensioni del sistema 122 cm di larghezza x 122 cm di profondità x 92 cm di altezza