I modelli CPS-HT sono i sistemi di sonde ad alta temperatura di MicroXact per il collaudo e la caratterizzazione di dispositivi alle temperature più elevate del mercato, sia in vuoto che in ambiente gassoso controllato. Offriamo sonde per wafer manuali per testare campioni fino a 2" x 2" (50 mm x 50 mm) e sistemi motorizzati o semi-automatici per testare wafer da 100 mm o più grandi. Questi sistemi sono in grado di testare i campioni fino a 700oC nel vuoto o 650oC a pressione atmosferica.
Caratteristiche
- Bracci della sonda con regolazione manuale esterna del micromanipolatore.
- Disponibili con mandrini termici raffreddati ad aria o ad azoto liquido.
- La configurazione standard include un tubo zoom 7:1X per una risoluzione migliore di 4 μm. 12.sono disponibili anche obiettivi zoom 5:1 e 16:1.
- Efficiente isolamento dalle vibrazioni della pompa del vuoto.
- Tempi rapidi di riscaldamento e raffreddamento.
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