Stazione a sonda semiautomatica SPS-2 series

sottovuoto

Le serie SPS-2600-VAC e SPS-2800-VAC sono sistemi di sonde a vuoto di MicroXact progettati per supportare il sondaggio motorizzato o semiautomatico di wafer fino a 100 mm o fino a 200 mm in un'atmosfera di vuoto o di gas controllato. Questa soluzione per i test in vuoto è sistematica e precisa, efficiente in termini di costi, a basso rumore e comoda da usare. Questi sistemi di sonde a vuoto sono costruiti su una piattaforma versatile e compensata dalle vibrazioni, in grado di essere configurata per gestire un'ampia gamma di applicazioni di ispezione. Ideali per test senza formazione di ghiaccio fino a 77K o per test ad alta temperatura di dispositivi e componenti soggetti a ossidazione, i sistemi di sonde a vuoto MicroXact offrono la possibilità di effettuare sonde a livello di wafer in ambiente controllato. Caratteristiche della stazione di sonde a vuoto - Disponibile con ripetibilità/risoluzione standard (+/-7mm/1,5mm) e alta ripetibilità/risoluzione (migliore di 2mm/100nm) in X e Y. - Disponibile con stadio theta manuale o motorizzato. - Sono disponibili bracci della sonda con regolazione manuale esterna del micromanipolatore. - Disponibile con mandrini termici raffreddati ad azoto liquido per test fino a temperature di azoto liquido. - La configurazione standard include un tubo zoom 7:1X per una risoluzione migliore di 4 μm. 12.sono disponibili anche obiettivi zoom 5:1 e 16:1. I microscopi composti ad alta risoluzione possono essere ospitati grazie a uno speciale design del coperchio superiore. - Isolamento efficiente dalle vibrazioni della pompa del vuoto. - Software di automazione XactTest™ con l'aggiunta del controllo automatico della pressione.