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Sistema di misurazione di dimensione critica NEXIV VMZ-S
del campo di visione (FOV)di distanzadi coordinate

Sistema di misurazione di dimensione critica - NEXIV VMZ-S - Nikon Metrology - del campo di visione (FOV) / di distanza / di coordinate
Sistema di misurazione di dimensione critica - NEXIV VMZ-S - Nikon Metrology - del campo di visione (FOV) / di distanza / di coordinate
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Caratteristiche

Grandezza fisica
dimensionale, di distanza, di coordinate, di dimensione critica, del campo di visione (FOV)
Tecnologia
ottico, visione, con telecamera, a luce bianca, a laser, video
Modo di funzionamento
automatico, automatizzato, in continuo
Prodotto misurato
per pezzi torniti, per wafer, per semiconduttore
Applicazioni
per applicazioni industriali, per linea di produzione, per controllo di qualità
Altre caratteristiche
di alta precisione, senza contatto, ad alta velocità, ad alta risoluzione, configurabile

Descrizione

Panoramica del prodotto
La serie NEXIV VMZ‑S di Nikon comprende sistemi di misurazione video per controlli dimensionali e di quota in applicazioni industriali. Disponibile in tre volumetrie (VMZ‑S3020, VMZ‑S4540, VMZ‑S6555), con sei tipi di ottiche/zoom e laser di scansione TTL di serie.

Velocità e precisione
  • L'AF laser TTL consente la scansione di quota ad alta velocità fino a 1.000 punti/s per l'acquisizione di profili superficiali.
  • Risoluzione minima 0,01 µm e ripetibilità AF laser 2σ ≤ 0,5 µm per misure dimensionali tracciabili.
  • Progettato per flussi di ispezione continui con misurazioni automatiche tolleranti le variazioni di posizionamento dei componenti.


Punti chiave
  • Sei tipi ottici (Type 1, 2, 3, 4, TZ, A) per campi visivi e ingrandimenti diversi; Type 1–3 privilegiano bassa distorsione e alto NA, Type 4 e TZ coprono ingrandimenti elevati.
  • Anello di illuminazione a 8 segmenti con più angoli di incidenza (LED bianchi) per migliorare la cattura dei bordi; configurazioni di illuminazione dipendenti dal tipo: episcopico, diascopico e campo scuro.
  • Possibilità di rilevare strati trasparenti di circa 0,1 mm tramite AF laser TTL (non disponibile per Type A).
  • Sonde di imaging e opzioni di sondaggio con errori di sondaggio ridotti per misure di dettagli fini (P_FV2D,MPE 0,3 µm; P_F2D,MPE 0,8 µm).


Funzionalità principali
  • Misurazioni dimensionali ad alta precisione e velocità su diverse gamme di ingrandimento grazie alle ottiche ad alto NA.
  • Strategie di illuminazione flessibili e opzioni dedicate per misurare spigoli difficili e geometrie complesse.
  • Telecamera 1/3" CMOS in bianco/nero o colore e zoom ottico continuo per i flussi di lavoro di ispezione.
  • Integrazione con il software di misura Nikon e SDK opzionali per automazione e gestione dati.


Specifiche (sintesi)
Modello | VMZ‑S3020 | VMZ‑S4540 | VMZ‑S6555
Corsa XYZ | 300 × 200 × 200 mm (TZ basso ingrandimento: 250 × 200 × 200 mm) | 450 × 400 × 200 mm (TZ basso ingrandimento: 400 × 400 × 200 mm) | 650 × 550 × 200 mm (TZ basso ingrandimento: 600 × 550 × 200 mm)
Risoluzione minima | 0,01 µm (tutti i modelli)
Portata massa max | 20 kg (accuratezza garantita: 5 kg) | 40 kg (accuratezza garantita: 20 kg) | 50 kg (accuratezza garantita: 30 kg)
Errore massimo ammissibile (MPE) | EUX/EUY, MPE = 1,2 + 4L/1000 µm; EUXY, MPE = 2,0 + 4L/1000 µm; EUZ, MPE = 1,2 + 5L/1000 µm
Errore di sondaggio | P_F2D,MPE = 0,8 µm; P_FV2D,MPE = 0,3 µm
Telecamera | 1/3" CMOS Bianco/Nero o Colore
Distanza di lavoro | Type 1–3: 50 mm; Type 4: 30 mm; Type TZ: (alto ingrandimento) 11 mm / (basso) 32 mm; Type A: 73,5 mm (63 mm con Laser AF)
Ripetibilità AF laser | 2σ ≤ 0,5 µm
Illuminazione | Episcopico, diascopico, anello 8 segmenti multi‑angolo (LED bianchi); configurazioni specifiche per tipo
Alimentazione / consumo | AC100–240 V, 50/60 Hz / 2–4 A
Dimensioni & massa | Vedere specifiche per modello (telaio principale e controller).

Specifiche tecniche
  • Serie: NEXIV VMZ‑S (VMZ‑S3020, VMZ‑S4540, VMZ‑S6555).
  • Risoluzione minima: 0,01 µm.
  • AF laser TTL: scansione fino a 1.000 punti/s; ripetibilità 2σ ≤ 0,5 µm.
  • Precisione sondaggio: P_FV2D,MPE 0,3 µm; P_F2D,MPE 0,8 µm.
  • Illuminazione: episcopico, diascopico, anello segmentato; opzioni campo scuro per tipi selezionati.
  • Telecamera: 1/3" CMOS (BN / colore).
  • Alimentazione: AC100–240 V, 50/60 Hz.
  • Ingombri e masse: variabili per modello; consultare le dimensioni specifiche per l'installazione.
* I prezzi non includono tasse, spese di consegna, dazi doganali, né eventuali costi d'installazione o di attivazione. I prezzi vengono proposti a titolo indicativo e possono subire modifiche in base al Paese, al prezzo stesso delle materie prime e al tasso di cambio.