Allineatore di maschera da banco 200

Il modello 200 OAI Mask Aligner è un costo-efficace maschera Aligner ad alte prestazioni che è stato progettato con l'industria componenti provati che hanno fatto OAI un leader nel settore delle attrezzature fotolitografia capitale. Il modello 200 è un allineatore da banco che richiede uno spazio minimo in camera bianca. Offre un'alternativa economica per la R&S o la produzione pilota su scala limitata. Utilizzando un innovativo sistema di livellamento con cuscinetto ad aria e mandrino a vuoto, il substrato viene livellato rapidamente e delicatamente, per un allineamento parallelo della maschera fotografica e un contatto uniforme su tutto il wafer durante l'esposizione a contatto. Il sistema è capace di una risoluzione di un micron e di una precisione di allineamento. Il modulo di allineamento è dotato di set di inserti per maschere e mandrini per wafer a cambio rapido che facilitano l'uso di una varietà di substrati e maschere senza richiedere strumenti speciali per la riconfigurazione. Il modulo di allineamento incorpora micrometri per gli assi X, Y e Z. Il modello 200 Mask Aligner è dotato di un'affidabile sorgente di luce UV OAI che fornisce una luce UV collimata in UV vicino o profondo utilizzando lampade di potenza da 200 a 2000 watt. Gli anelli di feedback ottici a doppio sensore sono collegati al regolatore di intensità costante per fornire il controllo dell'intensità dell'esposizione entro il ±2% dell'intensità desiderata. Le modifiche alla lunghezza d'onda UV possono essere effettuate rapidamente e facilmente. Questo Aligner per maschere è una soluzione flessibile ed economica per qualsiasi applicazione entry-level di allineamento delle maschere ed esposizione UV.