Macchina per deposizione PVD Pi1511

Pi1511 è un'unità di rivestimento PVD per grandi volumi. Essa combina tre catodi rotanti PLATIT LARC® XL nella porta e due catodi ad Arco planari nella parte posteriore della camera. La combinazione di catodi circolari con catodi planari ad alte prestazioni consente la deposizione di rivestimenti Signature di PLATIT selezionati con la consueta flessibilità. I catodi LARC® XL sono caratterizzati da un tempo di funzionamento molto lungo e garantiscono quindi un'elevata produttività con un basso costo per ogni rivestimento. Tecnologia 3 catodi LARC® XL (LAteral Rotating XL Cathode) nella porta 2 catodi planari nella parte posteriore per il rivestimento con tecnologia ad Arco MAC-3C (Magnetic Arc Confinement - Coil Current Compensation, confinamento arco magnetico - compensazione della corrente della bobina) per la regolazione automatica del campo magnetico Sostituzione rapida dei catodi Deposizione dei rivestimenti selezionati Signature di PLATIT Processi di etching Con l'unità di rivestimento PLATIT Pi1511 è possibile utilizzare molteplici tecnologie di etching che offrono diversi vantaggi: LGD® (Lateral Glow Discharge) Plasma etching con argon, scarica a bagliore Etching con ioni metallici (Ti, Cr) Carico e tempi di ciclo Volume di rivestimento massimo: ø715 x A805mm Altezza massima del rivestimento con spessore del rivestimento definito: 711mm Carico massimo: 750kg, peso maggiore su richiesta Cariche/giorno: 3 Sistemi a caroselli modulari 1-12 assi Software SmartSoftware PLATIT (sistema PC e PLC)