Sistema di automazione di produzione PECVD

di processi

Processo: Applicare a wafer di dimensioni 156/230 Compatibile con diverse dimensioni di attrezzature PECVD tubo e attrezzature PECVD piastra Caratteristiche: ● Carico e scarico ： Cassetta o pila Carico e scarico: Cassetta o pila Uscita: barca in grafite Monitoraggio della temperatura della barca Rilevamento online opzionale della differenza di colore/spessore della pellicola, rilevamento PL, rilevamento detriti, rilevamento della pellicola deformata, flip Supporto opzionale interfaccia MES e funzione di debug remoto Macchina intelligente, statistiche OEE e funzione di analisi del consumo energetico ● Rilevamento della temperatura della barca standard, barca di tiro verticale, ventosa in ceramica, vuoto monocanale ● Interfaccia IGV intelligente opzionale