Sistema di automazione di processi RTA-SRT-8000

Processo: Si applica a wafer di dimensioni 125/156 Compatibile con diverse dimensioni di attrezzature PECVD tubo e attrezzature PECVD piastra Caratteristiche : Progettazione online a doppio canale condivisa da tutti gli AB Integrazione online di AOI e test IV Rilevamento automatico della cella in arrivo e funzione di lancio Funzione di prelievo e posizionamento rapido del motore lineare Piattaforma stand-alone a quattro stazioni Alta velocità e alta produttività Alta efficienza e basso tasso di rottura Classificazione automatica delle celle Funzione di tracciamento dell'ID del wafer Commutazione automatica della pila Interfaccia MES e diagnosi remota Statistiche OEE e analisi del consumo energetico Caricamento: online, offline Scarico: Scatola impilata Progettazione opzionale a binario singolo/doppio, layout intero/diviso Opzioni:.. Rilevamento AOI anteriore o posteriore Rilevamento IV anteriore o posteriore, marchio opzionale HALM o WAVELAB Funzione di visualizzazione e stampa del numero di classificazione della cella Funzione di identificazione dei tag RFID Funzione di aggancio intelligente IGV Vantaggio : Alta precisione (SMega Pixel Smart Camera precisione di posizionamento e ripetibilità inferiore a 1 Oum@3 cr motore lineare ad alta risoluzione) Alta efficienza e basso tasso di rottura (Uptime≥98.5% Breakage≤0.1 %) Alta produttività (produzione: 8000pz/ora Tempo di ciclo≤0.9sec) Alta produzione (output): 140,000 pezzi/giorno 8000pcs/hourx98%x22=176000pcs/day） Braccio robotico a navetta intelligente (design del braccio a navetta multiasse, controllo indipendente Design con encoder assoluto Interruttore a pila rapida ）)