Produzione: 5000-12000 wafer/ora (personalizzabile in base alle diverse esigenze di capacità produttiva)
Tasso di rottura: ≤0,01%
Tempo di attività: ≥98,5%
Caratteristiche:
Rimozione del film SixNy&Al2O3 per celle solari ad alta efficienza TOPCon, BC, HJT
Sequenza di processo flessibile
Risciacquo e asciugatura efficienti
Elevata produttività, basso CoO
Apparecchiatura intelligente, statistiche sul consumo energetico e funzione di analisi
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