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- RoboTechnik Intelligent Technology Co., Ltd.
Sistema di automazione di produzione RTA-PECVD-6000-16000di processi
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Caratteristiche
- Specificazioni
- di processi, di produzione
Descrizione
Produzione: 6000-16000
Tasso di rottura: ≤0,04%@166; 0,04%@182; 0,04%@210
Tempo di attività: ≥99%
Caratteristiche:
Possibilità di carico e scarico separato o integrato
Telaio complessivo in acciaio saldato a segmenti, struttura stabile e affidabile
Rimozione automatica dei detriti opzionale
Interfaccia MES di supporto e funzione di debug remoto
Interfaccia IGV intelligente
Apparecchiature intelligenti, statistiche OEE e analisi del consumo energetico
Wafer compatibili da M10, M12 e 220-230 mm, full size e half size
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