Produzione: 8000-16000 wafer/ora
Tasso di rottura: ≤0,02% (per wafer di silicio di dimensioni superiori a M10)
Tempo di attività: >98%
Caratteristiche:
Pulizia del lato posteriore per celle solari ad alta efficienza TOPCon, BC, HJT
Rimozione di PSG/BSG
Eccellente uniformità, lunga durata del bagno
Elevata produttività, basso contenuto di CoO
Cambio rapido del bagno, cambio in linea del bagno
Apparecchiatura intelligente, statistiche sul consumo energetico e funzione di analisi
Lavorazione:
Adatto per wafer di silicio da 156-220 mm
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