Sistema di automazione di processi RTA-DF-12000

Produzione: 12000 Tasso di rottura: 0.01%@182; 0.02%@210 Tempo di attività: ≥99% Caratteristiche: Soluzione a portale opzionale o soluzione robotica a 6 assi Design del telaio a portale con motore lineare, alta velocità, stabile, affidabile Rilevamento del pezzo mancante del portafiori visivo opzionale, rilevamento dei detriti della barca al quarzo, posizionamento della barca al quarzo Telaio in acciaio saldato a segmenti, struttura stabile e affidabile Supporto dell'interfaccia MES e della funzione di debug remoto Interfaccia IGV intelligente Apparecchiature intelligenti, statistiche OEE e analisi del consumo energetico Wafer compatibili da M10, M12 e 220-230 mm, dimensione piena e mezza dimensione