Utilizzato per la testurizzazione e la pulizia delle celle solari a etero-giunzione ad alta efficienza.
Flusso del processo
Pre-Cleaning→DI Risciacquo in acqua→Rimozione dei danni da sega→DI Risciacquo in acqua→DI Risciacquo in acqua→DI Risciacquo in acqua→PSC1-DI Risciacquo in acqua→Lucidatura chimica (O3)→DI Risciacquo in acqua→Trattamento SC2→DI Risciacquo in acqua→HF Pulizia in acqua→DI Risciacquo in acqua→Acqua calda→Asciugatura ad aria calda.
- Adatto con MES, UPS e funzione RFID.
- Distribuzione ragionevole degli ascensori, in grado di evitare efficacemente la contaminazione incrociata di liquidi chimici e tempi di reazione del bagno di processo.
- Con una disposizione strutturale compatta e ragionevole, area acida, area alcalina e area ad alta pulizia separate da una parete divisoria, con un ingombro ridotto.
- La struttura avanzata del bagno a doppio strato migliora efficacemente la produttività con 400 pezzi per lotto.
- I bagni di processo combinano la modalità "feed & bleed" con la modalità "Time Dosing", prolungando il tempo di sollevamento del bagno e riducendo efficacemente il periodo di cambio del bagno.
- Il dosaggio e il make-up adottano il rilevamento lineare del doppio flussimetro magnetostrittivo all'interno del bagno e del barile di dosaggio, nonché la struttura di controllo del flusso della valvola regolabile per garantire il tempo di make-up iniziale e la precisione di un dosaggio accurato in modo efficace.
- Ottimizzare e migliorare tutti i materiali a contatto con il liquido di processo per evitare la precipitazione delle impurità.
- Con la più recente tecnologia di essiccazione a bassa temperatura per garantire la pulizia e l'accuratezza del controllo della temperatura all'interno del bagno, aumentare la durata del vettore minoritario delle celle solari.
---