Evaporatore a fasci ionici EFM 3

da laboratorio

Area d'evaporazione Ø 5 - 20 millimetri Video di cambiamento continuo Otturatore integrato Posteriore-caricamento di evaporant EFM 3 per VT SPM e per i pacchetti del TENENTE SPM Un prodotto del FUOCO Il EFM 3 è progettato per sviluppo della pellicola sottile e l'epitassia di fascio molecolare. lo Secondario-strato monomolecolare ed i sistemi a più strati possono essere prodotti con i tassi di evaporazione che variano dallo strato monomolecolare 1/10 al minuto oltre a 1000 strati monomolecolari al secondo. Il raffreddamento ad acqua accerta la pressione bassa della priorità bassa (tipicamente nella gamma mbar 10-10) durante l'evaporazione - e così permette lo sviluppo delle pellicole ultra-pure. Il fascio evaporant precisamente definito permette altamente il deposito dell'uniforme sul campione. La zona di deposito è determinata facilmente dalla scelta di tre aperture cambiabili differenti dell'uscita e dalla distanza fra la fonte e il campione. Una parte del fascio evaporant è ionizzata. Quando questi ioni colpiscono il substrato, possono generare i difetti nella superficie del substrato e depositare l'energia. Per evitare questo il EFM 3 può facoltativamente essere fornito di un soppressore dello ione che respinge gli ioni nuovamente dentro il EFM.