Capacità del crogiolo 300 cm³ o 500 cm³ o 500 cm³
Grande apertura della valvola
Controllo del flusso preciso e molto veloce
Condizioni operative di elevata purezza
Facile gestione e procedura di ricarica
Coperchio di raffreddamento ad acqua integrato
La Valved Arsenic Cracker Source è stata progettata per la crescita ad alte prestazioni dei materiali III-V. È altamente specializzato per la sublimazione As4 o As2 e combina una grande capacità del crogiolo di 300 cm³ o 500 cm³ con un controllo del flusso preciso e veloce. Il controllo del flusso su un intervallo di pressione superiore a due ordini di grandezza è garantito dal meccanismo valvolare integrato. Il tipico rapporto on/off è di circa quattro ordini di grandezza nella lettura della pressione.
Grazie all'ampia apertura della valvola, consente un efficiente pompaggio del serbatoio dell'arsenico in posizione di valvola aperta. L'unità di valvole può essere azionata manualmente o con un'unità di controllo valvole. La calotta di raffreddamento ad acqua integrata e l'utilizzo di materiali selezionati per la cella e la valvola garantiscono condizioni operative di elevata purezza. La modalità di funzionamento della sorgente può essere facilmente modificata da As4 a As2 in base alle condizioni di funzionamento dell'unità cracker integrata.
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