Macchina per deposizione PVD RTSP1000-Tantalum

per polverizzazione catodica a magnetrondi film sottilisottovuoto

Il tantalio è più utilizzato nell'industria elettronica come rivestimento protettivo a causa della sua buona resistenza all'erosione. Applicazioni 1. Industria microelettronica poiché i film possono essere spruzzati in modo reattivo e quindi è possibile controllare la resistività e il coefficiente di resistenza della temperatura; Strumenti medici come protesi corporee per le sue proprietà di alta biocompatibilità; Rivestimenti su parti resistenti alla corrosione, come pozzetti termometrici, corpi valvola e dispositivi di fissaggio; Il tantalio polverizzato può essere utilizzato anche come un'efficace barriera di resistenza alla corrosione se il rivestimento è continuo, difettoso ed è aderente al substrato destinato a proteggere. Vantaggi -Viene applicato un carrello standardizzato che consente un carico / scarico facile e sicuro dei supporti del substrato e dei pezzi da lavorare dentro / fuori dalla camera di deposizione. -Il sistema è interbloccato di sicurezza per impedire un funzionamento errato o pratiche non sicure. -I riscaldatori del substrato sono forniti montati al centro della camera, termocoppia controllata da PID per un'elevata precisione, per migliorare l'adesione del film di condensa. -Configurazioni di pompe per vuoto robuste con pompa molecolare a sospensione magnetica tramite valvola a saracinesca collegata alla camera; supportato con la pompa Leybold's roots e la pompa rotativa a palette a due stadi, pompa meccanica. - Con questo sistema viene applicata una sorgente di plasma ionizzato ad alta energia per garantire l'uniformità e la densità.