Macchina per deposizione PVD RTAS1000

per polverizzazione catodica a magnetrondi film sottilisottovuoto

Farfugliare del magnetron è ampiamente usato depositare i metalli refrattari come tantalio, il titanio, il tungsteno, il niobio, che richiederebbero le temperature elevate stesse del deposito ed i metalli preziosi: L'oro e l'argento e quale inoltre è usato per il deposito dei metalli più con una bassa temperatura di fusione dei punti come rame, alluminio, nichel, cromo ecc. Il tantalio più è utilizzato nell'industria elettronica come rivestimento protettivo a causa della sua buona resistenza ad erosione. Applicazioni del film sottile del tantalio Sputtered: 1. l'industria della microelettronica mentre i film possono essere farfugliati reattivo e così il coefficiente di temperatura e di resistività della resistenza possono essere controllati; Strumenti medici come gli impianti del corpo per la sua altamente proprietà di biocompatability; Rivestimenti sulle parti resistenti alla corrosione, quali i thermowells, i corpi di valvola ed i fermi; Il tantalio farfugliato può dovere anche essere usato come efficace barriera di resistenza della corrosione se il rivestimento è continuo, disertata ed è aderente al substrato è inteso proteggere.