L'ultimo sistema di movimento con bassa deriva ed esteso raggio di scansione.
SMARPROBE LX è stato sviluppato per portare l'ispezione ad anello chiuso con risoluzione nanometrica ad un livello superiore. Per minimizzare ulteriormente gli effetti della deriva termica e delle vibrazioni sulle vostre attività di nano-sondaggio, SMARPROBE LX è dotato di un controllo attivo della temperatura e di un range di scansione esteso per tutti i gradi di libertà. Il sistema ha lo stesso design robusto dello SMARPROBE standard ed è pienamente compatibile con l'Advanced Probe Holder.
L-Extension è un controllo della temperatura ad anello chiuso con sensori multipli. Aggiungendo questa opzione al sistema SMARPROBE, è possibile ottenere valori estremamente bassi di deriva termica.
La X-Extension aggiunge ai manipolatori uno scanner con una portata estesa. I posizionatori piezoelettrici di SmarAct utilizzano la tecnologia Stick-Slip Drive per combinare la risoluzione nanometrica con un lungo raggio d'azione. Per esperimenti di ispezione molto impegnativi, le minime vibrazioni durante un evento stick-slip possono influenzare negativamente la misura. Per ovviare a questo problema, i drive CLS-3232 di default possono essere sostituiti con gli Hybrid Drive DLS-3232 che hanno un range di scansione esteso di oltre 13 µm. Ciò significa che la sonda può essere spostata per 13 µm in tutti i gradi di libertà senza che si verifichino eventi di stick-slip.
---