Prestazioni eccezionali
Completamente codificato con risoluzione di 1 nm
Mantenimento attivo della posizione
Ampio campo di scansione e bassa deriva termica
Sondaggio di un'ampia area su 30 x 30 mm
Imaging EBAC/EBIC ad alta velocità
Efficiente e facile
Interfaccia utente all-in-one
Atterraggio e allineamento automatico di tutte le sonde
navigazione "Point & Click" all'interno dell'immagine SEM
Movimenti di gruppo e "Step & Repeat
Navigazione CAD per campione e sonde
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