L'APH è controllato dal controller tattile SMARPROBE. Insieme aprono nuove possibilità.
Il nanoprobing diventa più facile e più veloce perché le sonde possono atterrare automaticamente anche prima di accendere il fascio di elettroni. L'atterraggio automatico delle sonde, combinato con il controllo del movimento ad anello chiuso e lo scripting Python, consente di ottenere soluzioni uniche per automatizzare le attività di nanoprofilatura.
Inoltre, l'amplificatore di corrente integrato a basso rumore consente di eseguire un imaging EBAC rapido anche a basse correnti di fascio elettronico (pochi pAs), proteggendo il campione e il tempo a disposizione.
Caratteristiche:
Atterraggio automatico della sonda fino a otto sonde contemporaneamente
Imaging EBAC/EBIC a basso rumore
Completamente controllato da software
Supporta il biasing di tensione
Supporta EBIC lock-in
Miscelazione live con immagine SEM
EBIRCh disponibile
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