Sistema di posizionamento XYZ 782300:222.26

lineareper ispezione Wafer e metrologiaper l'industria dei semiconduttori

Ispezione in linea XYZ automatizzata di wafer con grande capacità di campionamento Questo sistema di ispezione è stato progettato appositamente per il controllo qualità automatizzato di supporti piatti e di grandi dimensioni, fino a 50 kg. Il sistema di posizionamento consente il posizionamento simultaneo del sensore in Z e del campione in XY su un ingombro molto compatto. Il robusto sistema consente anche l'utilizzo di sensori pesanti o sistemi di telecamere fino a 20 kg in Z. L'azionamento del mandrino, in combinazione con un freno del mandrino, garantisce un'autotenuta ottimale, in modo da mantenere una posizione verticale anche in stato di diseccitazione. Il sistema chiuso a basse emissioni è adatto anche ad ambienti industriali difficili, con polvere e fumo. Al granito è stato applicato un sistema di sospensione per il passaggio dei cavi. Design compatto con rapporto prezzo/prestazioni ottimizzato - Ideale per l'ispezione superficiale di supporti di grandi dimensioni fino a 650 x 650 mm - Misura precisa con ripetibilità fino a 2 µm - Buon rapporto qualità-prezzo grazie all'azionamento con motore passo-passo - Asse Z forte e robusto per sensori, microscopi e telecamere fino a 20 kg - Adatto agli ambienti industriali, ad esempio polvere e fumo Espandibile in opzione: - Varie corse fino a 1000 mm - Con/senza telaio e piastra di base in granito o alluminio - Versioni ISO 14644-1 (fino alla classe 1 su richiesta), ad esempio con custodia e con sistema di scarico - Soluzioni personalizzate per il passaggio dei cavi - Disaccoppiamento delle vibrazioni adattato mediante strato di gomma smorzante o smorzatori pneumatici - Utilizzo immediato con controller preconfigurato, incluso un software esemplare