Sistema di posizionamento XYZ 782498:001.26

lineareautomaticoper l'industria dei semiconduttori

Gantry di ispezione XYZ per semiconduttori | Motore lineare XY, guida profilata | Vite a ricircolo di sfere Z, servo AC - Ispezione e mikroscopia Ispezione 3D automatica ad alta precisione di semiconduttori Questo sistema di posizionamento a 3 assi sposta una telecamera o un sensore ad alta risoluzione sull'asse Z del target. Basato sull'asse lineare LA250 con azionamento diretto lineare, questo sistema raggiunge velocità e accelerazioni elevate con un'alta precisione e un'ottima riproducibilità. Per il posizionamento verticale, viene utilizzato lo stadio lineare ad alta precisione PLT165-AC con un potente servomotore CA per azionare la vite a sfere di precisione. Ha un'elevata capacità di carico utile, anche per i sensori più pesanti. Elevata produttività con un funzionamento 24/7 a bassa manutenzione - Ideale per l'ispezione automatizzata di campioni piatti di grandi dimensioni, ad esempio wafer, schede di sonde, grazie al ponte di traslazione - Corsa molto lunga di 700 x 700 x 200 mm per carichi fino a 15 kg - Misura di alta precisione con ripetibilità fino a 0,3 µm - Massima stabilità per misure ad alto ingrandimento Espandibile in opzione: - Varie corse fino a 2000 mm - Controllo in Z manuale o motorizzato - Con/senza telaio e piastra di base in granito o alluminio - Versioni ISO 14644-1 (fino alla classe 1 su richiesta) - Opzionale con controller preconfigurato, incluso un software esemplare per l'uso immediato