Generatore plasma radiofrequenza TruPlasma VHF 3000 series

I generatori TruPlasma VHF Serie 3000 si basano su di un concetto di piattaforma innovativo che permette massimi valori di irradianza soddisfacendo i requisiti di processo più severi. La struttura modulare raffreddata esclusivamente ad acqua permette di riprodurre in scala la potenza di uscita sino ad 80 kW. Inoltre, i compatti generatori VHF convincono per la loro alta redditività e il loro robusto design. Forma di impulso arbitraria, precisa e veloce Ciò permette di ottenere il miglior controllo del processo al plasma per il pulsing single level e multi level. Tempo di rampa minimo < 150 ns Permette un controllo flessibile del comportamento d'innesco del generatore. Auto Frequency Tuning intelligente Adattamento automatico della frequenza per un'interazione ottimale fra il generatore e la rete di adattamento. Controllo di processo affidabile e sofisticato Risultati di processo eccellenti e riproducibili, grazie alla modulazione di frequenza digitale di alta precisione. Indipendentemente dalla lunghezza del cavo Non è necessario adattare la lunghezza del cavo HF in caso di cambi di processo, quindi tempi di attrezzaggio più brevi. Design robusto Funzionamento affidabile del generatore, anche in caso di disadattamento, grazie alla tecnologia CombineLine.