Il sistema GEN930 MBE di Veeco è adatto allo sviluppo di materiali III-V o II-VI, completo di accoppiamento diretto della pompa per applicazioni di nitruro e ossido. L'utensile ha una struttura modulare, che garantisce una soluzione economica e flessibile, in grado di fornire materiali di comprovata qualità.
Questa apparecchiatura può essere integrata con un'apparecchiatura analitica per il monitoraggio in situ dei processi di crescita. Inoltre, il dispositivo offre una piattaforma versatile con funzioni di monitoraggio in situ come RHEED, pirometria, ellissometria, RGA, monitoraggio del flusso ottico e spettroscopia a riflettanza.
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