Sistema di distribuzione di gas GSDS-Series

I sistemi di erogazione del gas (GSDS) di Veeco sono utilizzati principalmente per le operazioni di controllo delle fonti di gas Veeco MBE. Possono anche essere utilizzati per il controllo accurato dei gas e degli interblocchi e per i processi di monitoraggio di una vasta gamma di tipi di gas. Questi dispositivi sono dotati di sistemi Molly® ECS1 Growth Control Software che consentono una rapida integrazione con i sistemi in uscita. I sistemi di erogazione delle sorgenti di gas sono disponibili in 3 configurazioni di modelli, appositamente progettati e realizzati per soddisfare le richieste dei clienti, i requisiti applicativi e i budget. Tutti i pacchetti includono valvole di intercettazione manuale della linea gas per ogni circuito, depuratori di filtri gas e regolatori di flusso di massa. Sono disponibili anche valvole di mandata e di sfiato ad azionamento pneumatico.