Macchina per deposizione per MOCVD TurboDisc K475i As/P

di film sottili

Il sistema MOCVD As/P MOCVD più produttivo del settore con i migliori rendimenti del settore Il nuovo TurboDisc K475i As/P MOCVD System di Veeco è il miglior reattore del settore per la produzione di LED rossi, arancioni, gialli (R/O/Y), celle solari multigiunzione III-V, diodi laser e transistor. Il sistema K475i è caratterizzato da un nuovo design del reattore che incorpora la tecnologia Uniform FlowFlange™ di Veeco che produce film con un'elevata uniformità e una migliore ripetibilità all'interno del wafer e wafer-to-wafer con la più bassa generazione di particelle del settore. Il design semplice della tecnologia Uniform FlowFlange offre facilità di regolazione per una rapida ottimizzazione del processo e un rapido recupero degli utensili dopo la manutenzione per la massima produttività in applicazioni quali illuminazione, solare, diodi laser, transistor a elevata mobilità di elettroni (pHEMTs) e transistor bipolari eterojunction bipolari (HBTs). La nuova tecnologia Uniform FlowFlange consente di ottenere la migliore uniformità e ripetibilità di processo della categoria, in grado di ottenere rendimenti maggiori La progettazione robusta del reattore offre facilità d'uso e recupero più rapido dopo la manutenzione per il massimo tempo di attività La massima produttività del settore grazie alla completa automazione La piattaforma di produzione collaudata fornisce il più basso costo di proprietà