Macchina per deposizione per MOCVD TurboDisc EPIK 868

per polverizzazione catodicadi film sottilia catodi rotativi

Prestazioni all'avanguardia con la massima efficienza di capitale e risparmio d'ingombro EPIK® 868 di Veeco è il sistema MOCVD a più alte prestazioni del settore dei LED che consente uniformità e ripetibilità superiori con una bassa difettosità. Disponibile in configurazioni a quattro reattori, EPIK 868 è dotato di tecnologie all'avanguardia, tra cui le tecnologie proprietarie IsoFlange™ e TruHeat™, che garantiscono un flusso laminare e un profilo di temperatura uniforme sull'intero supporto del wafer. Queste innovazioni tecnologiche consentono di ottenere i rendimenti più elevati richiesti per i mini e micro LED. La tecnologia TurboDisc® , integrata in EPIK 868, consente la massima disponibilità e operatività del sistema. Progettato per la produzione di massa, il carrier ad alta capacità EPIK 868 è in grado di ospitare wafer multipli di dimensioni pari a 4" o 6", per un costo di proprietà più basso. I clienti possono facilmente trasferire i processi dai sistemi TurboDisc esistenti alla nuova piattaforma MOCVD EPIK 868 per avviare rapidamente la produzione di mini e micro LED di alta qualità. Eccellente uniformità con bassa difettosità Architettura cluster compatta Architettura ad alta produttività per la massima produzione