Forno a camera
sottovuotoautomaticoindustriale

forno a camera
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Caratteristiche

Configurazione
a camera
Tipo di atmosfera
sottovuoto
Altre caratteristiche
automatico, industriale, compatto, a pressione, da laboratorio, per l'industria della ceramica, per applicazioni aeronautiche, per lavorazione di vetro

Descrizione

Forni I nostri forni sono completamente automatizzati con strumenti comodi e di design per entrambi i processi con diverse zone di riscaldamento completamente controllabili a seconda delle capacità e delle esigenze del cliente. Le nostre attrezzature sono per questi tipi di wafer con i diametri di 100, 150, 200, 300 mm. FORNI SOTTOVUOTO Vegatec progetta e produce forni sottovuoto con tutti i suoi sistemi di automazione per il laboratorio e l'industria della microelettronica, nanoelettronica e fotovoltaica. Questi forni sono i seguenti; Deposizione di vapore chimico a bassa pressione (LPCVD) I processi lo sono; Nitruro di silicio Ossido di TEOS Ossido a bassa temperatura (LTO) Ossido ad alta temperatura (HTO) Polisilicio drogato Ossido di silicio Oxinitruro Polisilicio Silanizzazione Deposizione di vapore chimico potenziato al plasma (PECVD) I processi lo sono; Ossido di silicio Nitruro di silicio Ossido di silicio Oxinitruro Doping al fosforo e boro Ricottura sotto vuoto Caratteristiche generali dei forni a vuoto Facile da usare e di facile manutenzione grazie al design facile da usare Camera di cottura e portacampioni a sbalzo in quarzo ad alta purezza In grado di lavorare fino a 10 camere bianche di classe 10 Capacità di lavorare sotto vuoto fino al 10-6 Lunga durata nel tempo grazie a componenti di alta qualità Zone di riscaldamento regolabili separatamente Facile utilizzo dell'interfaccia di automazione Tubi per forni impilabili per la costruzione compatta di processi diversi allo stesso tempo Possibilità di caricamento manuale o automatico Capacità secondo ogni cliente Scala da laboratorio o industriale

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* I prezzi non includono tasse, spese di consegna, dazi doganali, né eventuali costi d'installazione o di attivazione. I prezzi vengono proposti a titolo indicativo e possono subire modifiche in base al Paese, al prezzo stesso delle materie prime e al tasso di cambio.